歴代所長
昭和38.5.1～昭和44.3.31
福原 満洲雄 理学博士
昭和44.4.1～昭和47.3.31
吉田 耕作 理学博士
昭和47.4.1～昭和51.3.31
吉澤 尚明 理学博士
昭和51.4.1～昭和54.4.1
伊藤 清 理学博士
昭和54.4.2～昭和58.4.1
島田 信夫 理学博士
昭和58.4.2～昭和60.1.30
廣中 平祐 京都大学理学博士, ハーバード大学 Ph.D.
昭和60.1.31～昭和62.1.30
島田 信夫 理学博士
昭和62.1.31～平成3.1.30
佐藤 幹夫 東京大学 理学博士
平成3.1.31～平成5.1.30
高須 達 東京大学 理学博士
平成5.1.31～平成8.3.31
荒木 不二洋 京都大学 理学博士, プリンストン大学 Ph.D.
平成8.4.1～平成10.3.31
齋藤 恭司 ゲッティンゲン大学 Ph.D.
平成10.4.1～平成13.3.31
森 正武 東京大学 工学博士
平成13.4.1～平成15.3.31
柏原 正樹 京都大学 理学博士
平成15.4.1～平成19.3.31
高橋 陽一郎 東京大学 理学博士
平成19.4.1～平成21.3.31
柏原 正樹 京都大学 理学博士
平成21.4.1～平成23.3.31
藤重 悟 京都大学 工学博士
平成23.4.1～平成26.3.31
森 重文 京都大学 理学博士
平成26.4.1～平成29.3.31
向井 茂 京都大学 理学博士
平成29.4.1～令和2.3.31
山田 道夫 京都大学 理学博士
令和2.4.1～令和4.3.31
熊谷 隆 京都大学 理学博士
令和4.4.1～令和6.3.31
小野 薫 東京大学 理学博士
令和6.4.1～
大木谷 耕司 京都大学 理学博士
